Применяется при очень больши интенсивностя лазерного излучения, которое реализуется в режиме очень коротки лазерны импульсов наносекундной и пикосекундной длительности. Характерные особенности: -применяется в микроте нологии. -минимальное термическое воздействие на на материал подложки. -кпд процесса минимальный. -длина волны излучения лазера, как правило, короче 1 мкм (твердотельные и эксимерные лазеры, лазеры на пара металлов.)